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Bei etwa 16-22 nm ist mit heutiger Belichtungstechnik Schluss. Ab dann muss mit weicher Röntgenstrahlung belichtet oder ein anderes Material gewählt werden. Irgendwann danach, möglicherweise bei 1-2 nm, wird eine Grenze der Miniaturisierung erreicht, bei der quantenmechanische Tunneleffekte in den Vordergrund treten. Spätestens dann werden völlig andere Hardwarearchitekturen und Fertigungstechniken aus der Schublade geholt werden.

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